硅片/單晶硅多晶硅硬度測量——《YZHV-1ZP硅片顯微維氏硬度計》
光伏行業(yè)，近幾年的發(fā)展還是不錯的，其中硅錠、硅片、太陽能電池片在光伏行業(yè)有著很好的市場前景。單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成，處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等應用，因此硅材料加工后物理性能的優(yōu)劣，對產(chǎn)品質(zhì)量是非常重要的，這里上海奕縱精密主要對硅片，單晶硅，多晶硅產(chǎn)品的力學性能中硅片的硬度如何檢測做一些詳細介紹和說明。眾所周知，硅片/硅材料硬度的高低，對產(chǎn)品本身的性能至關重要，單晶硅和多晶硅的硬度介于鍺和石英材料之間，常溫下脆性較大，切割或受外力時容易破碎或產(chǎn)生裂痕，但其硬度確非常高，一般硅片硬度高達1200-1400HV左右，因此采用常規(guī)的金屬硬度計去檢測是不適合的，常規(guī)的檢測方法，比如洛氏，布氏，維氏硬度計等因為試驗加載力較大，小的加載里在1kg左右，大的力值高達幾十至上百公斤不等，這樣會對硅片造成破損或在其表面產(chǎn)生裂紋，也就無法測量硬度了。市場上硅片生產(chǎn)廠家使用最多的是上海奕縱精密儀器有限公司生產(chǎn)的YZHV-1ZP顯微維氏硬度計測量系統(tǒng)（硅片硬度計）硬度計產(chǎn)品鏈接如下：http://m.oberr.cn/prshow-425.html或YZHV-1ZP型硅片硬度計很好的解決了以上無法測量的問題，經(jīng)過多位硬度測量專家的無數(shù)次測試和試驗，選用50gf~200gf的試驗力去測量硅片硬度，可以達到最佳效果，既不會造成硅片破損也不會產(chǎn)生裂紋，可以無損的測量出其準確的硬度值。用下圖做一個演示：
采用YZC4.0顯微圖像測量分析軟件進行測量，用戶只需要用鼠標在電腦屏幕上點擊幾下就可以迅速的檢測出硅片的硬度值，硬度精度達到了±3%的準確度，測試完畢同時可以通過CCD攝像機將壓痕圖像拍照存儲和打印出來，自動生成用戶測試報告。作者：上海奕縱精密儀器有限公司
YZHV-1ZP自動轉(zhuǎn)塔數(shù)顯顯微維氏硬度計測量系統(tǒng)，是上海奕縱精密儀器有限公司研發(fā)生產(chǎn)的一款高級自動轉(zhuǎn)塔顯微硬度計系統(tǒng)，本機配備高清工業(yè)級500萬像素（內(nèi)置式CCD攝像系統(tǒng)）和YZHV專用顯微維氏硬度圖像分析測量控制軟件。硬度計主機采用8英寸超大觸摸屏顯示，硬件上采用光學交叉導軌導向，齒輪齒條二級傳力，可實現(xiàn)快速平穩(wěn)傳力，使用壽命長久，Z軸采用高傳動比高精密蝸輪蝸桿精密側(cè)搖升降系統(tǒng)。YZHV-1ZP自動轉(zhuǎn)塔顯微維氏硬度計的產(chǎn)品軟件優(yōu)勢如下：在電腦上可通過鼠標控制物鏡和壓頭的自動轉(zhuǎn)換（即鼠標控制自動轉(zhuǎn)塔），在電腦上可通過鼠標控制試驗力的自動切換（即：電動切換試驗力，無須手動切換），在電腦上可通過鼠標控制光源亮度的自由調(diào)節(jié)（即軟件控制調(diào)光）。本硬度計適合檢測精密機械類的零件或材質(zhì)，如硬質(zhì)合金、鋼鐵，碳鋼、不銹鋼，銅鋁，硅片，單晶硅，多晶硅，金屬組織及表面加工層、電鍍層、氮化層、滲碳層，氰化層零件的表層硬度、齒輪，軸承、陶瓷等可對被限定的微小部分進行測定，通過專業(yè)的顯微維氏量軟件測量硬度值，無需人工看顯微鏡，直接通過電腦屏幕清晰顯示硬度值和硬度梯度曲線，常用的洛氏、布氏、表面洛氏硬度標尺可自動轉(zhuǎn)算，自動統(tǒng)計測量結(jié)果，電腦軟件上可顯示測量當前HV硬度值，最大值、最小值、平均值、標準偏差等，對被測零件表面幾乎沒有損傷，無損測量，硬度計使用方便、測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、精準。
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型號
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YZHV-1ZP
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試驗力
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10gf (0.098N)、25gf (0.245N)、50gf (0.49N)、100gf (0.98N )、
200gf (1.96N)、300gf (2.94N)、500gf (4.9N)、1000gf (9.8N)
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加荷方式
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程控自動加荷（自動加載）,自動保荷，自動卸荷
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保荷時間
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0–90s
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硬度測量范圍
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5–4000HV
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光學總放大倍率
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高清物鏡: 40x， 10x， 自動型測微目鏡: 10x
總倍率: 400x（測量）; 100x（觀察和測量）
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最小檢測單位
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0.01μm
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X-Y測試臺
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尺寸：100×100mm 最大移動：25×25 mm
最小讀數(shù)：1/100mm
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光路切換
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雙光通道（測量/攝影切換）
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硬度測量方式
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用電腦軟件測量，也可用測微目鏡測量（雙功能）
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測量軟件及數(shù)據(jù)輸出
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顯示：試驗力，保荷時間，D1, D2, HV硬度值，最大值、最小值、平均值，分散度，標準偏差，提供HRA、HRB、HRC、HRD、HRF、HV、HK、HBW、HR15N、HR30N、HR45N、HR15T、HR30T、HR45T等換算值，可輸出壓痕圖像，硬度梯度曲線圖等，可用硬度標準塊對硬度值進行精確校準。
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硬度測量軟件優(yōu)勢
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*在電腦上，可通過鼠標控制試驗力自動切換，無需手動切換試驗力
*在電腦上，可通過鼠標控制壓頭和物鏡自動轉(zhuǎn)塔切換（自動轉(zhuǎn)塔）
*在電腦上，可通過鼠標控制光源亮度自由調(diào)節(jié)，自動調(diào)光
*內(nèi)置式500萬像素工業(yè)級高清CCD攝像機，內(nèi)置式攝像機，高清晰成像
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被測試件最大高度約
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90mm
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執(zhí)行標準(或參照)
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中國國家標準 GB/T 4340國際標準ISO 6507 ， ASTM_E92
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壓頭至機壁距離約
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130mm
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電源
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220 VAC, 50/60 Hz
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尺寸
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約540*260*650mm
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重量
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約50kg
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上海奕縱精密YZHV顯微維氏圖像硬度控制測量軟件介紹：
1、本軟件測量系統(tǒng)可和各種維氏/顯微硬度計相配，計算機控制硬度計，如自動轉(zhuǎn)塔臺、調(diào)亮度，
2、圖像清晰，壓痕通過軟件測量,可以生成硬度層深分布曲線;
3、自動生成測試報告，可打印輸出報告，采用測微尺或硬度塊標定，可自動標定；
4、硬度按國標和ASTM轉(zhuǎn)換成其他硬度；硬度值統(tǒng)計及硬度超出報警；
5、試驗報告可用戶定制，所有試驗數(shù)據(jù)永遠保存，便于歷史查詢。
6、自動統(tǒng)計測量的當前硬度值、最大值、最小值、平均值、標準偏差等。
7、<軟件界面如下>：
